TSMC wacht tot 2029 met kopen van 'heel dure' high-NA-euv-apparatuur van ASML
… Ooit zullen ze het misschien wel moeten gebruiken, maar op dit moment kunnen we nog steeds profiteren van de huidige euv-technologie zonder over te hoeven stappen op high-NA, dat erg duur is." Volgens Zhang kost een high-NA-machine van ASML meer dan 350 miljoen euro. …